半导体制造中的病毒学挑战，如何防止微电子设备被‘感染’？
在半导体制造的精密世界里，除了对材料和工艺的严格把控，一个常被忽视的领域便是病毒学，尽管听起来与生物医学领域更为贴近，但事实上，半导体制造过程中也可能遭遇“病毒”的困扰，这里的“病毒”并非指生物病毒，而是指那些能导致设备性能下降、甚至报废的...
在半导体制造的精密世界里，除了对材料和工艺的严格把控，一个常被忽视的领域便是病毒学，尽管听起来与生物医学领域更为贴近，但事实上，半导体制造过程中也可能遭遇“病毒”的困扰，这里的“病毒”并非指生物病毒，而是指那些能导致设备性能下降、甚至报废的...