半导体制造中的病毒学挑战,如何防止微电子设备被‘感染’?
在半导体制造的精密世界里,除了对材料和工艺的严格把控,一个常被忽视的领域便是病毒学,尽管听起来与生物医学领域更为贴近,但事实上,半导体制造过程中也可能遭遇“病毒”的困扰,这里的“病毒”并非指生物病毒,而是指那些能导致设备性能下降、甚至报废的...
在半导体制造的精密世界里,除了对材料和工艺的严格把控,一个常被忽视的领域便是病毒学,尽管听起来与生物医学领域更为贴近,但事实上,半导体制造过程中也可能遭遇“病毒”的困扰,这里的“病毒”并非指生物病毒,而是指那些能导致设备性能下降、甚至报废的...
在半导体制造的精密世界里,每一微米的精度都至关重要,一个常常被忽视的威胁——病毒学污染,却可能对这一高精尖产业构成巨大挑战,半导体生产过程中,微小的病毒颗粒可能附着在原材料、工具或人员上,一旦进入洁净室,就可能成为难以察觉的“隐形杀手”。这...