峡谷在半导体制造中的独特应用,是挑战还是机遇?
在半导体制造的复杂工艺中,一个常被忽视却又至关重要的环节是“峡谷”结构的应用,所谓“峡谷”,在这里指的是在硅片表面通过特定工艺形成的微小凹槽结构,其深度、宽度和形状对器件性能有着显著影响。问题提出:如何在保证制造精度的同时,有效利用“峡谷”...
在半导体制造的复杂工艺中,一个常被忽视却又至关重要的环节是“峡谷”结构的应用,所谓“峡谷”,在这里指的是在硅片表面通过特定工艺形成的微小凹槽结构,其深度、宽度和形状对器件性能有着显著影响。问题提出:如何在保证制造精度的同时,有效利用“峡谷”...