等离子体物理学中的‘鬼影’现象，如何揭示其神秘面纱？
在半导体制造的精密世界中，等离子体物理学扮演着举足轻重的角色，在等离子体与材料相互作用的过程中，一个令人费解的现象——“鬼影”现象，时常困扰着从业者。何为“鬼影”？ 它是指在半导体加工过程中，使用等离子体刻蚀或沉积时，某些区域会异常地沉积或...
在半导体制造的精密世界中，等离子体物理学扮演着举足轻重的角色，在等离子体与材料相互作用的过程中，一个令人费解的现象——“鬼影”现象，时常困扰着从业者。何为“鬼影”？ 它是指在半导体加工过程中，使用等离子体刻蚀或沉积时，某些区域会异常地沉积或...