墙面贴纸在半导体洁净室中的潜在应用与挑战?
在半导体制造的洁净室环境中,对空气洁净度、表面清洁度以及防止微粒污染的要求极为严格,除了对空气和工具的严格控制外,墙面作为重要的“静态”污染源也不容忽视,传统的墙面处理方式如喷漆或涂料虽能提供一定程度的保护,但存在易脱落、不易清洁及可能产生...
在半导体制造的洁净室环境中,对空气洁净度、表面清洁度以及防止微粒污染的要求极为严格,除了对空气和工具的严格控制外,墙面作为重要的“静态”污染源也不容忽视,传统的墙面处理方式如喷漆或涂料虽能提供一定程度的保护,但存在易脱落、不易清洁及可能产生...