拖轮在半导体制造中的隐形力量,如何确保晶圆传输的精准与高效?
在半导体制造的精密舞台上,拖轮作为晶圆传输的关键设备,扮演着“幕后英雄”的角色,其重要性不仅在于将晶圆从一道工序平稳转移到另一道,更在于确保这一过程的无误与高效,一个常被忽视的问题是:在高速传输与频繁启停中,如何保证拖轮系统的稳定性和精度?...
在半导体制造的精密舞台上,拖轮作为晶圆传输的关键设备,扮演着“幕后英雄”的角色,其重要性不仅在于将晶圆从一道工序平稳转移到另一道,更在于确保这一过程的无误与高效,一个常被忽视的问题是:在高速传输与频繁启停中,如何保证拖轮系统的稳定性和精度?...