浮桥桥头,半导体材料传输的‘水上驿站’
在半导体制造的复杂工艺中,浮桥桥头作为连接不同生产区域的关键节点,其作用不容小觑,一个常被忽视却又至关重要的问题是:如何确保在浮桥桥头高效、无损地传输半导体材料?半导体材料,尤其是那些对环境极为敏感的,如硅晶圆,在传输过程中必须严格控制温度...
在半导体制造的复杂工艺中,浮桥桥头作为连接不同生产区域的关键节点,其作用不容小觑,一个常被忽视却又至关重要的问题是:如何确保在浮桥桥头高效、无损地传输半导体材料?半导体材料,尤其是那些对环境极为敏感的,如硅晶圆,在传输过程中必须严格控制温度...