如何在半导体制造中保持平静的工艺环境？
在半导体制造的微米至纳米级精度要求下，任何微小的振动或气流扰动都可能对芯片的质量和性能产生严重影响，如何在一个高度动态的制造环境中保持“平静”，是半导体工艺控制中的一个关键问题。“平静”在这里不仅仅指物理环境的稳定，更包括工艺过程的可控性和...
在半导体制造的微米至纳米级精度要求下，任何微小的振动或气流扰动都可能对芯片的质量和性能产生严重影响，如何在一个高度动态的制造环境中保持“平静”，是半导体工艺控制中的一个关键问题。“平静”在这里不仅仅指物理环境的稳定，更包括工艺过程的可控性和...