半导体制造中的‘寄生虫’,如何避免微小生物对芯片的潜在威胁?
在半导体制造的精密世界中,我们通常关注的是纳米级的颗粒物和化学污染,但有一个常被忽视的领域——寄生虫学,这里的“寄生虫”并非指生物体内部的寄生虫,而是指那些微小到几乎不可见的微生物,如细菌、霉菌和病毒等,它们能在生产环境中滋生,对芯片制造构...
在半导体制造的精密世界中,我们通常关注的是纳米级的颗粒物和化学污染,但有一个常被忽视的领域——寄生虫学,这里的“寄生虫”并非指生物体内部的寄生虫,而是指那些微小到几乎不可见的微生物,如细菌、霉菌和病毒等,它们能在生产环境中滋生,对芯片制造构...