摄影技术如何为半导体芯片成像带来新突破?
在半导体制造的精密世界里,每一微米的精度都至关重要,传统的光学显微镜受限于波长限制,难以捕捉到芯片上纳米级别的细节,这时,摄影技术,尤其是那些基于特殊光源和成像原理的技术,如暗场显微成像、电子显微成像(EM)和扫描隧道显微镜(STM),成为...
在半导体制造的精密世界里,每一微米的精度都至关重要,传统的光学显微镜受限于波长限制,难以捕捉到芯片上纳米级别的细节,这时,摄影技术,尤其是那些基于特殊光源和成像原理的技术,如暗场显微成像、电子显微成像(EM)和扫描隧道显微镜(STM),成为...