环境化学因素如何影响半导体材料的性能与稳定性?
在半导体产业的快速发展中,环境化学因素逐渐成为影响材料性能与稳定性的关键变量,半导体材料,如硅、锗等,在制造过程中及使用阶段,不可避免地会与周围环境中的氧气、水分、温度、湿度等发生相互作用,这些因素共同构成了半导体材料所处的“化学小环境”。...
在半导体产业的快速发展中,环境化学因素逐渐成为影响材料性能与稳定性的关键变量,半导体材料,如硅、锗等,在制造过程中及使用阶段,不可避免地会与周围环境中的氧气、水分、温度、湿度等发生相互作用,这些因素共同构成了半导体材料所处的“化学小环境”。...