金属材料在半导体制造中的‘双刃剑’角色,利弊何在?
在半导体制造的精密工艺中,金属材料扮演着不可或缺的角色,既是关键组件的构成材料,也是实现电路互连与热管理的关键,其“双刃剑”特性也使得其在应用中需谨慎权衡。金属材料,如铜、铝和金,因其良好的导电性和热导性,在半导体封装和互连中广泛应用,铜因...
在半导体制造的精密工艺中,金属材料扮演着不可或缺的角色,既是关键组件的构成材料,也是实现电路互连与热管理的关键,其“双刃剑”特性也使得其在应用中需谨慎权衡。金属材料,如铜、铝和金,因其良好的导电性和热导性,在半导体封装和互连中广泛应用,铜因...