放射化学在半导体制造中的安全与挑战,如何平衡高效与安全?
在半导体制造的复杂工艺中,放射化学的应用为材料纯度、晶体缺陷控制及掺杂等方面提供了关键支持,这一过程也伴随着潜在的安全风险,如何确保在利用放射性同位素进行材料改性时,既能实现高效生产,又能保障人员和环境的安全,成为了一个亟待解决的问题。必须...
在半导体制造的复杂工艺中,放射化学的应用为材料纯度、晶体缺陷控制及掺杂等方面提供了关键支持,这一过程也伴随着潜在的安全风险,如何确保在利用放射性同位素进行材料改性时,既能实现高效生产,又能保障人员和环境的安全,成为了一个亟待解决的问题。必须...