力学在半导体制造中的微妙平衡,如何确保晶圆片的完美平整?
在半导体制造的精密工艺中,晶圆片的平整度是决定芯片性能的关键因素之一,而这一要求,恰恰与力学的原理紧密相连。晶圆片的制备过程中,从原材料的切割、研磨到抛光,每一步都需精确控制力学作用,在研磨过程中,过大的压力可能导致晶圆片表面产生划痕或裂纹...
在半导体制造的精密工艺中,晶圆片的平整度是决定芯片性能的关键因素之一,而这一要求,恰恰与力学的原理紧密相连。晶圆片的制备过程中,从原材料的切割、研磨到抛光,每一步都需精确控制力学作用,在研磨过程中,过大的压力可能导致晶圆片表面产生划痕或裂纹...