控制论在半导体制造中的‘自组织’与‘他组织’平衡
在半导体制造的复杂系统中，控制论作为一门研究系统调控与优化的学科，扮演着至关重要的角色，一个核心问题是如何在半导体生产过程中实现“自组织”与“他组织”的动态平衡。自组织是指系统内部各组成部分在无外界直接干预下，通过相互作用形成有序结构的过程...
在半导体制造的复杂系统中，控制论作为一门研究系统调控与优化的学科，扮演着至关重要的角色，一个核心问题是如何在半导体生产过程中实现“自组织”与“他组织”的动态平衡。自组织是指系统内部各组成部分在无外界直接干预下，通过相互作用形成有序结构的过程...