深度学习在半导体制造中的未来,能否彻底改变晶圆缺陷检测的格局?
在半导体制造的精密世界里,每一微米的进步都意味着技术的飞跃,而晶圆缺陷检测,作为这一过程中的关键环节,其准确性和效率直接关系到芯片的质量与良率,传统方法虽能胜任基本检测任务,但面对复杂多变的缺陷形态时,其局限性和误报率不容忽视。深度学习,作...
在半导体制造的精密世界里,每一微米的进步都意味着技术的飞跃,而晶圆缺陷检测,作为这一过程中的关键环节,其准确性和效率直接关系到芯片的质量与良率,传统方法虽能胜任基本检测任务,但面对复杂多变的缺陷形态时,其局限性和误报率不容忽视。深度学习,作...