划艇技术,半导体材料中的‘微纳雕刻’艺术?
在半导体制造的微细加工领域,我们常常面临如何在微米甚至纳米尺度上精确控制材料去除的挑战,这不禁让人联想到水上运动中的划艇技术——在波光粼粼的水面上,划艇手通过精准的桨动,驱动小艇在狭窄的水道中灵活穿梭。问题提出:如何在半导体晶圆上实现如同划...
在半导体制造的微细加工领域,我们常常面临如何在微米甚至纳米尺度上精确控制材料去除的挑战,这不禁让人联想到水上运动中的划艇技术——在波光粼粼的水面上,划艇手通过精准的桨动,驱动小艇在狭窄的水道中灵活穿梭。问题提出:如何在半导体晶圆上实现如同划...