模式识别在半导体缺陷检测中的挑战与机遇
在半导体制造的精密工艺中，微小的缺陷可能导致整个芯片的失效，高效、准确的缺陷检测至关重要，模式识别技术作为人工智能领域的重要分支，在半导体缺陷检测中展现出巨大潜力，这一应用也面临着诸多挑战。挑战一：复杂多变的缺陷形态半导体制造过程中，缺陷形...
在半导体制造的精密工艺中，微小的缺陷可能导致整个芯片的失效，高效、准确的缺陷检测至关重要，模式识别技术作为人工智能领域的重要分支，在半导体缺陷检测中展现出巨大潜力，这一应用也面临着诸多挑战。挑战一：复杂多变的缺陷形态半导体制造过程中，缺陷形...