检测车，如何精准识别半导体制造中的微小缺陷？
在半导体制造的精密工艺中，任何微小的缺陷都可能成为产品失效的隐患，如何高效、准确地检测出生产过程中的微小缺陷，成为了半导体行业的一大挑战。问题提出： 在半导体晶圆制造的各个环节中，如何利用先进的检测技术，实现对车（即晶圆传输设备）上晶圆表面...
在半导体制造的精密工艺中，任何微小的缺陷都可能成为产品失效的隐患，如何高效、准确地检测出生产过程中的微小缺陷，成为了半导体行业的一大挑战。问题提出： 在半导体晶圆制造的各个环节中，如何利用先进的检测技术，实现对车（即晶圆传输设备）上晶圆表面...