实验室中的‘隐形杀手’,如何有效控制半导体材料制备过程中的微粒污染?
在半导体材料制备的实验室中,微粒污染常常被视为“隐形杀手”,它不仅影响产品的性能和可靠性,还可能对实验人员的健康构成威胁,如何才能有效控制这一污染呢?实验室的设计和布局至关重要,应采用全封闭或半封闭的洁净室系统,确保空气流通的洁净度,实验区...
在半导体材料制备的实验室中,微粒污染常常被视为“隐形杀手”,它不仅影响产品的性能和可靠性,还可能对实验人员的健康构成威胁,如何才能有效控制这一污染呢?实验室的设计和布局至关重要,应采用全封闭或半封闭的洁净室系统,确保空气流通的洁净度,实验区...