金属材料在半导体制造中的‘双刃剑’角色
在半导体制造的精密工艺中,金属材料扮演着举足轻重的角色,它们既是连接电路的桥梁,也是影响器件性能的关键因素,一个值得探讨的问题是:如何平衡金属材料在提高半导体器件导电性和防止短路之间的“双刃剑”效应?金属材料如铝、铜因其良好的导电性而被广泛...
在半导体制造的精密工艺中,金属材料扮演着举足轻重的角色,它们既是连接电路的桥梁,也是影响器件性能的关键因素,一个值得探讨的问题是:如何平衡金属材料在提高半导体器件导电性和防止短路之间的“双刃剑”效应?金属材料如铝、铜因其良好的导电性而被广泛...