行李车在半导体生产中的‘微妙’角色,是助力还是障碍?

在半导体生产这一精密而复杂的领域中,我们常常会忽略一些看似微不足道却能产生重大影响的工具——用于运输晶圆和设备的行李车,这些看似普通的工具,在高度洁净、无尘、防静电的半导体生产环境中,却扮演着至关重要的角色。

问题: 如何在保持高洁净度和防静电的同时,确保行李车的设计和材质不会对半导体生产造成污染或损害?

行李车在半导体生产中的‘微妙’角色,是助力还是障碍?

回答: 关键在于选择合适的材质和设计,行李车表面应采用防静电材料,如导电橡胶或防静电漆,以防止静电对晶圆造成损害,车轮应采用无尘、易清洁的设计,减少因轮子转动带来的尘埃和颗粒物,行李车的结构和连接件应采用不锈钢等耐腐蚀材料,确保长期使用下的稳定性和洁净度,定期对行李车进行清洁和维护,确保其始终处于最佳状态,为半导体生产提供可靠的支持。

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